催化剂浓度对6H-SiC晶片Si面化学机械抛光性能的影响

目的提高6H-SiC晶片Si面化学机械抛光(CMP)的材料去除率(MRR),改善其抛光表面质量。方法使用含有不同Cu~(2+)浓度和甘氨酸形成的配合物作为催化剂、H2O2作为氧化剂的抛光液,对6H-SiC晶片Si面进行CMP。使用精密天平称量SiC晶片抛光前后的质量,计算其MRR。使用AFM观测Si C晶圆表面,测其表面粗糙度(Ra)。使用Zeta电位仪测量在不同Cu~(2+)浓度下纳米氧化硅磨粒的Zeta电势和粒径分布。使用摩擦磨损试验机测量不同Cu~(2+)浓度时Si C晶圆的摩擦系数。对比不同压力和转速在CMP中对Si C的MRR和Ra的影响。结果随着Cu~(2+)浓度的增大,MRR先增大后减小,在Cu~(2+)体积浓度为300μmol/L时,MRR有最大值,为82 nm/h,此时,Ra为0.156 nm;相比之下,不加入Cu~(2+)-甘氨酸配合物的MRR为62 nm/h,Ra为0.280 nm。同时,随着Cu~(2+)浓度的增大,一方面,溶液中磨粒的Zeta电势绝对值不断减小,但高于不加入Cu~(2+)-甘氨酸配合物时的Zeta电势绝对值;另一方面,其平均粒径逐渐增大,但低于不加入Cu~(2+)-甘氨酸配合物时的平均粒径(104.0nm)。另外,随着Cu~(2+)浓度的增大,Si C晶圆的摩擦系数先增大后减小,在300μmol/L时达到最大,为0.6137。最后,随着压力的增大,MRR不断增加,但压力过大,使得Ra增大。随着抛光盘转速的增大,MRR先增大后减小,Ra无明显变化,在120 r/min时,MRR有最大值,为96 nm/h,Ra为0.161nm。结论 Cu~(2+)-甘氨酸配合物作为催化剂能够加快Si C化学机械抛光中的化学氧化速率,从而提高MRR,并且能够提高抛光液分散稳定性,改善Si C晶圆表面质量。另外,增大抛光压力可以增强机械磨削作用,提高MRR,但压力过大,会损伤晶片表面。抛光盘转速的增大也可以提高MRR,但其过大则会使抛光液外溅,降低化学作用,导致MRR降低。     

东昆仑沙丘低缓磁异常区深部铁多金属矿床找矿标志

那陵郭勒河沙丘地区位于东昆仑祁漫塔格早古生代裂陷槽,经历了早古生代及晚古生代—早中生代的复合造山作用,发育多期次岩浆活动和成矿作用,具有较好的铁多金属找矿前景。文章通过研究沙丘铁多金属矿的成矿地质背景、矿床特征、地磁异常和地球化学异常等,探讨了其找矿标志。研究表明:沙丘地区铁多金属矿床成因类型属接触交代型(矽卡岩型),矽卡岩与磁铁矿体在空间分布紧密共生,是重要的找矿标志;引起该区磁异常的主要地质体为闪锌磁铁矿矿石、闪锌磁铁矿化矽卡岩、矽卡岩、闪长岩、硅质岩、玄武岩、钾长花岗斑岩;利用物探磁异常找寻磁铁矿作用显著,在低缓磁异常区、正负异常接触部位是找寻铁多金属矿最重要也是最直接的找矿标志。     

辽宁王营子钼矿地质特征及找矿标志

辽宁省朝阳市王营子钨钼矿位于努鲁儿虎山脉大青山东部,属辽西凌源—北票金成矿带高杖子—大庙—东五家子金成矿区中部,蝴蝶沟—王营子金钼多金属矿化带。研究区内地层、岩浆岩发育较好,构造未见明显特征。主要岩体以斑状花岗岩、似斑状花岗岩为主,矿体严格受似斑状花岗岩控制,富集于钾化似斑花岗岩中,矿脉与围岩无明显界线。基于野外实际勘查、成矿地质条件等的研究,认为王营子钼矿为细脉浸染型斑岩型钼矿,并总结了找矿标志。     

基于灰关联的PSO-BP神经网络的高层住宅造价估算

针对高层住宅工程造价管理的难点及传统造价估算方法存在的不足,采用灰关联分析与粒子群优化的 BP 神经网络相结合的方法,以高层住宅工程特征指标为网络的输入向量,达到快速、准确地估算高层住宅工程造价的目标。借助文献回顾法与灰关联分析法系统地确定工程特征指标体系并作为神经网络的输入向量;引入 PSO 算法优化 BP 网络的权值及阈值,解决网络收敛速度慢、易陷入局部极小值等缺点。并通过实例验证构建的模型,提高了前期决策阶段造价估算的精确度,实现了快速估算     

热带雨林环境中霉菌对PCB-Cu腐蚀行为的影响

目的 研究PCB-Cu在热带雨林环境下的霉菌腐蚀行为。方法 利用平板培养法筛选出PCB表面出现频率较高的两株真菌Fusarium solani和Daldinia eschscholtzii。利用干重法研究Cu2+对其生理活性的影响,利用扫描电子显电镜观测PCB-Cu表面的生物成膜情况,并利用动电位极化曲线研究其腐蚀电化学行为。 结果 两株真菌在6天时,均能在PCB-Cu表面形成生物膜,且在菌丝密集处,出现腐蚀产物的堆积。同时,薄液膜内Cu2+浓度的升高能抑制菌体的繁殖。相比于无菌组,两株菌株均能够在前期抑制PCB-Cu自腐蚀电位Ecorr的升高,在后期抑制PCB-Cu自腐蚀电位Ecorr的降低。结论 霉菌孢子接种到PCB-Cu表面后,由于初期PCB-Cu表面薄液膜中的Cu2+含量较少,对菌体的抑制作用较低,因此菌体活性较好,其分泌物抑制了PCB-Cu表面氧化膜的生成,从而在初期促进了PCB-Cu的腐蚀。但随着腐蚀反应的进行,PCB-Cu表面薄液膜中Cu2+浓度逐渐升高,菌体的活性受到抑制,因此腐蚀性分泌物含量下降,而此时附着在PCB-Cu表面的生物膜对基体起到了保护作用,从而开始抑制腐蚀。     

不同开挖方式下采空区变形规律研究

煤矿采空区上覆岩层变形控制已经成为安全开采的关键环节,是确保工作人员及周边居民生命财产安全的重要因素。为得到合理的煤层开采方式、降低采空区引起的地表沉降,以山东莱芜市北埠煤矿为研究对象,利用FLAC~(3d)模拟软件对不同开挖方式下采空区上覆围岩的变形特征及地表沉降规律展开深入分析,研究结果表明:(1)开挖同一煤层条件下,双向开采引起的变形量大于单项开采;(2)相同采序条件下,单向开采引起的竖向变形与影响范围较小;(3)煤层开采顺序一定时,不同开采方式导致的地表最大沉降值相差不大。     

地面高精度磁法在青海大沙龙铁矿勘查中的应用

大沙龙铁矿区位于北祁连洋壳沉积带西段,走廊南山复背斜轴部南翼。属北祁连Cu-Pb-Zn-Fe-Cr-Au-Ag硫铁矿—石棉成矿带。区内广泛分布有奥陶纪火山沉积岩,岩层褶皱紧密,断裂发育,其西南侧为柴达诺山花岗岩体,矿区内有较多脉岩分布。据钻孔资料,深部见隐伏超基性岩体。根据大沙龙铁矿床特征及矿石中有用组分和伴生元素的特点,在前人工作成果的基础上,以地质工作与物探工作相结合的勘查手段,配以山地工程及各项分析测试手段,较全面系统地评价大沙龙矿床。地磁异常反演解释及钻探深部验证是找矿发现的关键。     

探地雷达在城市道路工程勘察中的应用

探地雷达具有实时检测、高分辨率、高效率、无损探测、结果直观的特点,对城市道路地下管线、地下工程和道路病害体有明显的异常反应。本文利用探地雷达方法,在结合实际情况、优选关键测量参数的基础上,通过合理的数据处理和解释实现高精度成像;探测结果清晰地揭示了城市道路、地下管线、病害及缺陷区等多种不同的探测目标。经典型路段实际开挖,进一步核实了本次勘探效果。本成果为该区域及周边后期的勘查工程布置提供了物探依据,可作为参考示范在区域内进行推广。     

上海软土的非饱和三轴强度

由于吸力的影响,非饱和土的力学性状与饱和土有着很大的差异,饱和土的有关强度理论无法简单地运用于解决非饱和土问题。本文通过室内吸力控制的非饱和土三轴剪切试验,研究上海地区软土的强度特征。结果表明:上海软土(④层灰色淤泥质粘土)非饱和强度在低吸力范围内,与吸力基本呈线性增长关系,验证了非饱和土的双变量强度理论的适用性;上海地区第④层灰色淤泥质粘土的非饱和土抗剪强度参数?b约为10.6°。随着非饱和土问题的研究的逐步深入,非饱和土强度理论在上海地区软土地层中的应用,还有待进一步研究和完善。     

山西潞城黄土的工程特性(英文)

通过对山西潞城黄土的微观结构分析研究 ,得出黄土的微观结构由两部分组成 :松散结构和密实结构。松散结构的骨架主要由粉粒构成 ,粘粒和其它细小颗粒赋着于大颗粒表面 ,起着胶结作用 ,结构内部和结构之间存在着较大的孔隙。大孔隙的存在是产生湿陷的必要条件。